白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為光譜儀或者是CCD，接收到的信號是光強隨著光波長的分布,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加，即可得到與它對應的時域接收信號,。由此可見,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中,，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋,。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜，從而增加了光譜的相干長度,。這一解調(diào)技術的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件,，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法,、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。白光干涉膜厚測量技術的研究需要對光學理論和光學儀器有較深入的了解。常用膜厚儀調(diào)試

利用包絡線法計算薄膜的光學常數(shù)和厚度,，但目前看來包絡法還存在很多不足,，包絡線法需要產(chǎn)生干涉波動，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點,，且干涉極值點足夠多,，精度才高。理想的包絡線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點建立的,，在沒有正確方法建立包絡線時,，通常使用拋物線插值法建立，這樣造成的誤差較大,。包絡法對測量對象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點建立包絡線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難，從而降低該方法的準確度,。其次,，薄膜吸收的強弱也會影響該方法的準確度，對于吸收較強的薄膜,，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡線逐漸匯聚成一條曲線，該方法就不再適用,。因此,，包絡法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品。陜西品牌膜厚儀白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對不同材料的薄膜進行測量,。

白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出,，隨后于1976年在光纖通信領域中獲得了實現(xiàn)。1983年,，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術在光纖傳感領域中的應用,。隨后在1984年，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng),。該研究成果證明了白光干涉技術可以被用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年間，白光干涉應用于溫度,、壓力等的研究相繼被報道,。自上世紀九十年代以來，白光干涉技術快速發(fā)展,，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案,。近幾年以來,，由于傳感器設計與研制的進步,，信號處理新方案的提出，以及傳感器的多路復用[39]等技術的發(fā)展,，使得白光干涉測量技術的發(fā)展更加迅速,。

白光干涉在零光程差處，出現(xiàn)零級干涉條紋,，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降,。測量精度高,，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強,，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構緊湊等優(yōu)點,。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有很多的共同之處?？梢哉f,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，在頻域上觀察到的就是不同波長對應的干涉光強變化曲線,。白光干涉膜厚測量技術的精度可以達到納米級別,。

在白光反射光譜探測模塊中，入射光經(jīng)過分光鏡1分光后,，一部分光通過物鏡聚焦到靶丸表面,，靶丸殼層上、下表面的反射光經(jīng)過物鏡,、分光鏡1、聚焦透鏡,、分光鏡2后,，一部分光聚焦到光纖端面并到達光譜儀探測器，可實現(xiàn)靶丸殼層白光干涉光譜的測量,，一部分光到達CCD探測器,，可獲得靶丸表面的光學圖像。靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊和三維運動模塊分別用于靶丸的吸附定位以及靶丸特定角度轉(zhuǎn)位以及靶丸位置的輔助調(diào)整,，測量過程中,，將靶丸放置于軸系吸嘴前端，通過微型真空泵負壓吸附于吸嘴上,；然后,，移動位移平臺，將靶丸移動至CCD視場中心,，通過Z向位移臺,，使靶丸表面成像清晰；利用光譜儀探測靶丸殼層的白光反射光譜,；靶丸在軸系的帶動下,，平穩(wěn)轉(zhuǎn)位到特定角度，由于軸系的回轉(zhuǎn)誤差,，轉(zhuǎn)位后靶丸可能偏移CCD視場中心,，此時可通過調(diào)整軸系前端的調(diào)心結(jié)構，使靶丸定點位于視場中心并采集其白光反射光譜,；重復以上步驟,，可實現(xiàn)靶丸特定位置或圓周輪廓白光反射光譜數(shù)據(jù)的測量,。為減少外界干擾和震動而引起的測量誤差，該裝置放置于氣浮平臺上,，通過高性能的隔振效果可保證測量結(jié)果的穩(wěn)定性,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于生物醫(yī)學中的薄膜生物學特性分析。湖北有哪些膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析,。常用膜厚儀調(diào)試

薄膜作為重要元件,，通常使用金屬、合金,、化合物,、聚合物等作為其主要基材，品類涵蓋光學膜,、電隔膜,、阻隔膜、保護膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜,，廣泛應用于現(xiàn)代光學、電子,、醫(yī)療,、能源、建材等技術領域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等,。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應調(diào)制的光學薄膜，包括各種增透增反膜,、偏振膜,、干涉濾光片和分光膜等。部分薄膜經(jīng)特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕、耐磨損等特性,，對通訊,、顯示、存儲等領域內(nèi)光學儀器的質(zhì)量起決定性作用[1-3],，如平面顯示器使用的ITO鍍膜,，太陽能電池表面的SiO2減反射膜等。微米級以上的薄膜以工農(nóng)業(yè)薄膜為主,，多使用聚酯材料,，具有易改性、可回收,、適用范圍廣等特點,。例如6微米厚度以下的電容器膜,，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜,，以及厚度為25~65微米的防偽標牌及拉線膠帶等,。微米級薄膜利用其良好的延展、密封,、絕緣特性,，遍及食品包裝、表面保護,、磁帶基材,、感光儲能等應用市場，加工速度快,，市場占比高,。常用膜厚儀調(diào)試