往復真空泵活塞從右端向左端運動,,此時吸氣閥關閉,。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮,,當氣缸內(nèi)氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時,排氣閥4被打開,,將氣體排到大氣中,,完成一個工作循環(huán)。當活塞再左向右運動時,,又重復前一循環(huán),,如此反復下去,被抽容器內(nèi)達到某一穩(wěn)定的平衡壓力,。為提高抽氣效率,,一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥,然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來,。往復真空泵從安裝形式來分,,有臥式往復真空泵及立式往復真空泵,;從油潤滑來分,有有油往復真空泵及無油往復真空泵,。真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭,。不銹鋼真空泵廠家
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大,。目前,,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右,。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額,。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎,,國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領域得到應用并經(jīng)過驗證,,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,,應該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間,。干式螺桿真空泵水環(huán)真空泵用小的結(jié)構尺寸,可以獲得大的排氣量,,占地面積也小,。
液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉(zhuǎn)時,,把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。液環(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運動使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵,。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構成,其結(jié)構和工作原理與液環(huán)壓縮機相似,。當工作液體為水時,,稱水環(huán)式真空泵,水環(huán)真空泵是一種粗真空泵,,它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa,,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670 Pa。
歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵,、多級爪式真空泵,、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等,。極限壓力從10Pa~10-2Pa,,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,,目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%,,國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴,。所以,,我國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點,。水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的,,可抽除易燃、易爆的氣體,。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體,、制藥,、精密加工等行業(yè)選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),,在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,,同步齒輪及軸承用油潤滑,,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構類似,,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,,進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,,目前通用的是直連電機,,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動,。真空泵的傳動方式,,真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。不銹鋼真空泵廠家
一般情況下,,真空泵工作2000小時后應進行檢修,。不銹鋼真空泵廠家
噴嘴是影響真空泵性能的重要部件,存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪,、堵塞,、損壞、腐蝕和泄漏,,不管采取何種預防措施,,噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時,,管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴,;另一方面,真空泵系統(tǒng)停用時,,蒸汽管道易生銹,,銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。蒸汽的影響:我們常用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵,,是以過飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的,,蒸汽的狀況對泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能,,還會腐蝕蒸汽噴嘴,,添加泵的蒸汽用量,使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定,。不銹鋼真空泵廠家