全自動晶圓盒清洗機（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場景：用DIW/有機溶劑（可選）實現(xiàn)FOUP清潔,，通過高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實現(xiàn)FOUP干燥。設(shè)備特點：清洗對象：6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD,。設(shè)備主要構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu)),、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng),、有機溶劑清洗系統(tǒng)（可選）等機構(gòu)組成,。清洗能力：8只FOUP/小時（依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定）。干進干出,。人工分離FOUP,、POD,，人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗,，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn),，對于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設(shè)有防呆機構(gòu),，防止人工將清洗件放置錯誤,。鼠籠設(shè)有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測。動平衡偵測轉(zhuǎn)籃未定位保護,，降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞,。主軸以伺服馬達控制達到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制，主軸震動值可監(jiān)測,?？深A(yù)設(shè)多條Recipe，操作簡潔,。選配SECS/GEM接口?？蓪崿F(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯,，具有過點信息、狀態(tài)監(jiān)控,、故障匯總,、訂單下發(fā)等功能。選擇我司設(shè)備,，讓你的生產(chǎn)更加節(jié)能,、環(huán)保！海南片盒清洗機供應(yīng)商家
產(chǎn)品介紹：FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機,，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup ,、Fosb 、Cassette ）,可以實現(xiàn)良好的清洗和干燥效果,。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動,。由DI Water的表面張力、機械力進行Particle清洗, 離心＋熱風(fēng)進行烘干等工藝組成,，高效率,、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機,Casstte清洗機,FOSB清洗機,離心清洗機,晶圓清洗機,清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動清洗機,離心熱風(fēng)洪干清洗機。湖南半自動FOUP清洗機怎么收費選擇江蘇芯夢設(shè)備,，讓你的生產(chǎn)更加智能化,、自動化！
在FOUP內(nèi)去除顆粒物的方法可以采取多種措施,，以下是一些常見的方法：噴氣清洗：使用壓縮空氣或氮氣等氣流,，通過噴射到FOUP內(nèi)部,，將顆粒物從FOUP表面吹走。噴氣清洗可以通過噴嘴,、噴氣等設(shè)備來實現(xiàn),，通常結(jié)合定向氣流和適當(dāng)?shù)臍饬魉俣龋杂行У厝コw粒物,。超聲波清洗：超聲波清洗是一種利用高頻聲波震動的方法,，可以將FOUP內(nèi)的顆粒物從表面剝離。超聲波的震動作用可以在微小的尺度上產(chǎn)生沖擊波,，從而破壞顆粒物與FOUP表面的附著力,，使其脫落。濕拭清洗：濕拭清洗使用濕潤的擦拭布或棉簽等工具,，直接擦拭FOUP的表面,，將顆粒物吸附到擦拭物上。這種方法適用于較大或較粘附的顆粒物,，可以通過多次擦拭和更換擦拭物來提高清潔效果,。靜電除塵：由于FOUP的材料通常具有一定的靜電特性，可以利用靜電除塵技術(shù)去除顆粒物,。靜電除塵通常通過在FOUP內(nèi)部放置靜電除塵裝置,，利用靜電作用將顆粒物吸附到帶電的部件上，然后移除這些帶電部件以去除顆粒物,。過濾器和過濾介質(zhì)：在FOUP的設(shè)計中,，可以使用過濾器和過濾介質(zhì)來阻止顆粒物進入FOUP內(nèi)部。這些過濾器通常位于FOUP的入口和出口處,，以過濾空氣中的固體顆粒和其他污染物,，從而減少FOUP內(nèi)的顆粒物數(shù)量。
FOUP內(nèi)的污染物可以來自多個來源,，以下是其中一些常見的來源：過程殘留物：在半導(dǎo)體制造過程中,，涉及到各種化學(xué)物質(zhì)、溶劑,、清洗劑等,。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內(nèi)，成為污染物的來源,。顆粒物：在半導(dǎo)體制造環(huán)境中,，微小顆粒是一個主要的污染源。這些顆?？梢詠碜钥諝庵械幕覊m,、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設(shè)備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進入FOUP內(nèi)部,，導(dǎo)致污染,。人為操作：在FOUP的處理、維護和運輸過程中,，如果操作不當(dāng),，例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等,，都會引入污染物,。傳輸和存儲過程：FOUP在制造過程中需要經(jīng)過多個環(huán)節(jié)的傳輸和存儲，包括機器之間的傳輸,、暫存庫等,。在這些過程中，如果傳輸設(shè)備或存儲環(huán)境不潔凈,，或者FOUP密封不嚴密,，都會導(dǎo)致污染物進入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染：FOUP在制造過程中可能暴露在環(huán)境中,，例如在潔凈室內(nèi),。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳，存在空氣中的微塵和顆粒物可能會進入FOUP內(nèi)部,，并成為污染源,。芯夢設(shè)備采用先進的自動化控制技術(shù)，提升生產(chǎn)效率,！
FOUP清洗機的清洗通常涉及以下幾個步驟：預(yù)處理：在FOUP清洗機中，F(xiàn)OUP首先會經(jīng)過預(yù)處理步驟,，以去除表面的大顆粒和雜質(zhì),。這可能涉及使用噴淋裝置、超聲波清洗器等設(shè)備,，以噴射和震動的方式清洗FOUP表面,。清洗劑噴灑：清洗劑會被噴灑到FOUP表面，以去除附著在表面的污染物,、油脂和有機物,。清洗劑通常是一種化學(xué)溶液，具有去除污染物的特性,。機械攪拌：一些FOUP清洗機可能具有機械攪拌功能,，通過旋轉(zhuǎn)或攪拌FOUP，在清洗劑的作用下,，進一步加強清洗效果,。機械攪拌可以幫助清洗劑更好地接觸到FOUP表面的污染物，并將其徹底去除,。沖洗：在清洗劑作用一段時間后,，清洗機會進行沖洗步驟,，將清洗劑和被去除的污染物沖洗掉。通常使用清潔的水源進行沖洗,，以確保殘留的清洗劑和污染物完全被去除,。干燥：沖洗后，F(xiàn)OUP會進入干燥步驟,，以去除殘留的水分,。這可以通過噴氣裝置、熱風(fēng)等方式實現(xiàn),。干燥是為了確保FOUP表面徹底干燥,，避免水分殘留引起的污染或其他問題。檢測和質(zhì)量控制：在清洗過程的不同步驟中,，可以使用傳感器,、儀器和監(jiān)測設(shè)備對FOUP進行檢測和質(zhì)量控制。這可以包括檢測潔凈度,、顆粒檢測,、殘留物檢測等，以確保清洗效果符合要求,。芯夢設(shè)備具有高精度生產(chǎn)功能,，確保產(chǎn)品質(zhì)量！上海半自動FOSB清洗機規(guī)格尺寸
芯夢制造的設(shè)備采用品質(zhì)材料,，使用壽命長,，是你的長久伙伴！海南片盒清洗機供應(yīng)商家
Foup清洗機是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備,，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）,。我們的Foup清洗機采用智能化設(shè)計，滿足您對生產(chǎn)的多重需求,。外觀精美,，質(zhì)感上乘，提升生產(chǎn)品質(zhì),。采用品質(zhì)材料,，使用壽命長，是您的長久伙伴,。具有多種智能功能,，助您輕松應(yīng)對生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡單,，維護方便,，降低使用成本。我們的晶圓盒具有高精度功能，確保生產(chǎn)體驗,。采用先進的自動化控制技術(shù),，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機,，讓您的晶圓生產(chǎn)更加便捷,、舒適！海南片盒清洗機供應(yīng)商家
芯夢擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地,，包括超過3000平米的千級潔凈室和萬級裝配車間,，配備有精密的研發(fā)檢測儀器設(shè)備。芯夢的創(chuàng)始團隊成員均為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才,，目前芯夢已經(jīng)建立了一支多學(xué)科交叉,、實力雄厚的技術(shù)研發(fā)團隊，目前公司擁有員工總數(shù)290余人,，其中技術(shù)研發(fā)人員90余人,，售后服務(wù)人員近40人。我們高度重視知識產(chǎn)權(quán)保護,，主營產(chǎn)品已獲得數(shù)十項授權(quán)專利,，包括近20件授權(quán)發(fā)明專利，并通過了知識產(chǎn)權(quán)管理體系認證,。