光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法,，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng),，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應(yīng)關(guān)系。因此,，根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學(xué)參數(shù)。光譜法的優(yōu)點(diǎn)是可以同時測量多個參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術(shù)；缺點(diǎn)是對樣品薄膜表面條件的依賴性強(qiáng),，測量穩(wěn)定性較差,，因而測量精度不高；對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,，這種方法主要應(yīng)用于有機(jī)薄膜的厚度測量。白光干涉膜厚測量技術(shù)的研究需要對光學(xué)理論和光學(xué)儀器有較深入的了解,。江蘇有哪些膜厚儀

對同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,，圖4-3是靶丸的垂直掃描干涉示意圖，通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后,，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光線,，測量到的有效壁厚越大，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，當(dāng)垂直穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上、下殼層的厚度,。怎樣選擇膜厚儀誠信企業(yè)推薦白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的各項光學(xué)參數(shù)進(jìn)行聯(lián)合測量和分析,。

薄膜作為重要元件，通常使用金屬,、合金,、化合物、聚合物等作為其主要基材,，品類涵蓋光學(xué)膜,、電隔膜、阻隔膜,、保護(hù)膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子,、醫(yī)療,、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等,。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應(yīng)調(diào)制的光學(xué)薄膜，包括各種增透增反膜,、偏振膜,、干涉濾光片和分光膜等。部分薄膜經(jīng)特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕,、耐磨損等特性，對通訊,、顯示,、存儲等領(lǐng)域內(nèi)光學(xué)儀器的質(zhì)量起決定性作用[1-3]，如平面顯示器使用的ITO鍍膜,，太陽能電池表面的SiO2減反射膜等,。微米級以上的薄膜以工農(nóng)業(yè)薄膜為主，多使用聚酯材料,，具有易改性,、可回收、適用范圍廣等特點(diǎn),。例如6微米厚度以下的電容器膜,，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜,，以及厚度為25~65微米的防偽標(biāo)牌及拉線膠帶等,。微米級薄膜利用其良好的延展、密封,、絕緣特性,，遍及食品包裝、表面保護(hù),、磁帶基材,、感光儲能等應(yīng)用市場，加工速度快,，市場占比高,。

根據(jù)以上分析可知，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量,；②抗干擾能力強(qiáng),，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素?zé)o關(guān)；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān),；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低。但是,，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進(jìn)行相位補(bǔ)償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米,，達(dá)到亞微米的分辨率,，主要受機(jī)械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制,。文獻(xiàn)[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達(dá)到0.54μm,。當(dāng)所測光程差較小時，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近,，難以區(qū)分,，此時時域解調(diào)方案的應(yīng)用受到限制。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于納米制造中的薄膜厚度測量,。

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理示意圖,，入射的白光光束通過半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡后，被分光鏡分成兩部分,，一個部分入射到固定的參考鏡,，一部分入射到樣品表面，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后,，再次匯聚發(fā)生干涉,，干涉光通過透鏡后，利用電荷耦合器(CCD)可探測整個視場內(nèi)雙白光光束的干涉圖像,。利用Z向精密位移臺帶動干涉鏡頭或樣品臺Z向掃描,，可獲得一系列的干涉圖像。根據(jù)干涉圖像序列中對應(yīng)點(diǎn)的光強(qiáng)隨光程差變化曲線,，可得該點(diǎn)的Z向相對位移,；然后，由CCD圖像中每個像素點(diǎn)光強(qiáng)最大值對應(yīng)的Z向位置獲得被測樣品表面的三維形貌,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉圖像的分析實(shí)現(xiàn)對薄膜的缺陷檢測和分析,。原裝膜厚儀貨真價實(shí)

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)通信中的薄膜透過率測量。江蘇有哪些膜厚儀

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強(qiáng)測量裝置換為光譜儀或者是CCD，接收到的信號是光強(qiáng)隨著光波長的分布,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強(qiáng)疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強(qiáng)疊加,，即可得到與它對應(yīng)的時域接收信號。由此可見,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機(jī)械掃描部件,，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。江蘇有哪些膜厚儀