產品說明

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺,，適用于先進封裝制程的particle、有機,、無機,、助焊劑等污染物清洗,?？蛇x配二流體,、megasonic、超高壓噴洗、RCA ,、Hot water及蒸氣等清洗方式，清洗工藝窗口寬,，清洗能力強,，占地面積小，性價比高等特點,。

功能說明

制程均勻度可用 recipe 調控,。

良率優(yōu)于 wet bench type。

單片模式之機況可控制可追溯,。

制程個別參數(shù)易于調整,。

可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境。

潔凈度控制優(yōu)于批次生產,。

Footprint 較小,。

適用于 wafer dry in / dry out制程。

機臺之安全性優(yōu)于 bench type,。

為未來濕式高階設備之主流機臺,。江蘇芯夢設備采用先進技術，助你輕松提升產能,！青海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系人

FOUP清洗機特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可裝載于清洗籃之制品,。伺服馬達驅動,設有扭力偵測安全機構，防止人為誤操作造成損壞及危險,。具備停機自動歸位功能,，方便裝載清洗制品。旋干制程中除IR干燥外,，運用氣流干燥,，可加速去除較大水滴，增進干燥效果; 進而提升效率,。

應用范圍：該設備主要用于半導體制程的FOUP,、FOSB、Cassette的Particle清洗,。

分類：

全自動FOUP清洗機,、半自動foup清洗機。

4寸~12寸全尺寸兼容,，快速實現(xiàn)干進干出,，30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍，更大吞吐量廣東全自動片盒清洗機聯(lián)系人芯夢設備具有多種智能功能,，助你輕松應對各種挑戰(zhàn),！

產品介紹:半導體清洗機請認準江蘇芯夢半導體設備有限公司，經營各類半導體清洗機，為半導體清洗機專業(yè)供應商,，其中就包含F(xiàn)OUP清洗機,。FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用于所有類型的晶圓料盒SmifFoup,、Fosb,、Cassette,可以實現(xiàn)無與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉安裝和固定在封的清洗室內36正反轉動。由D1Wlate的表面張力,、機械力進Patcdle清洗離心+熱風進行供干等工藝組成,，高效率、高質量完成foup的Particle清洗,。設備特點：五大系統(tǒng)結構,、純水加熱PWH、高壓噴淋HPS（噴頭位置/形狀,，可以根據(jù)客戶料盒形態(tài)針對性調整）,、熱風烘干HAD（可選配CDA吹干和紅外模式）、快速甩干HSD,、CDA/N2吹掃,。配備強大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等,；30~60分鐘完成1次清洗工藝,，快速實現(xiàn)干進干出；四工位/六工位選擇,，依不同產品適配的裝載量,；配備可靠的過濾系統(tǒng)；EN18822-H14高等級空氣過濾系統(tǒng),；0.1um超純水過濾,；0.003umCDA過濾。

FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除,，以確保FOUP在后續(xù)的半導體制造過程中不會引入水分造成污染或其他問題,。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后，F(xiàn)OUP可能會經過一段時間的靜置,，以讓水自然排出,。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置，以便水能夠從FOUP底部排出,。噴氣干燥：為了加速干燥過程,，F(xiàn)OUP清洗機通常配備了噴氣裝置。噴氣裝置會通過向FOUP表面噴射干燥的氣流,，將水分蒸發(fā),。氣流可以是壓縮空氣或氮氣。噴氣干燥的時間和氣流的強度可以根據(jù)需要進行調整。熱風干燥：有些FOUP清洗機還配備了熱風干燥功能,。在噴氣干燥之后,，F(xiàn)OUP可能會進入一個熱風室，其中通過加熱空氣或氮氣來加速水分的蒸發(fā),。熱風干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分,。真空干燥：另一種常見的干燥方法是利用真空環(huán)境。FOUP可能會進入一個真空腔室,，其中通過創(chuàng)建負壓,，使水分在低壓下蒸發(fā),。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果,。氣流凈化：在干燥過程中，清洗機通常會通過高效過濾器和空氣凈化系統(tǒng)提供干凈的氣流環(huán)境,。這有助于防止新的顆粒進入FOUP,，并確保干燥過程中不會引入新的污染物。江蘇省晶圓盒清洗機哪家靠譜就選江蘇芯夢半導體設備有限公司,！

Foup清洗機是用于半導體生產中的關鍵設備,，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機采用先進的智能化設計,，結構緊湊,，占用空間小，適合各種生產場景,。其外觀精美,，質感上乘，提升了生產品質,，同時采用品質材料,，使用壽命長，是您的長久伙伴,。我們的產品可以個性化定制,。具有多種智能功能，助您輕松應對生產挑戰(zhàn),。操作簡單,，維護方便，降低您的使用成本,。具有高精度功能,，確保生產體驗。采用先進的自動化控制技術,，提升使用效率,。選擇我們的Foup清洗機，讓您的晶圓生產更加智能化、自動化選擇芯夢的設備,，讓你的生產過程更加安全,、穩(wěn)定！半自動片盒清洗機怎么收費

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FOUP清洗機是一種清洗foup的設備,，用于清洗和處理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半導體制造過程中存放晶圓的封閉式容器,。FOUP清洗機通過自動化的清洗過程,，去除FOUP內外的污染物，確保晶圓的高純度和可靠性,。FOUP清洗機具備多種功能和處理能力,。它能夠去除FOUP內的油脂、有機物,、化學物質殘留和水分,。清洗機采用不同的清洗方法和工藝參數(shù)，如噴淋清洗,、超聲波清洗,、高溫處理等，以適應不同類型的污染物,，并確保清洗效果,。清洗機具有高效、快速的特點,。它能夠在短時間內完成清洗過程,，提高生產效率。自動化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,，減少人為操作的誤差,。FOUP清洗機注重安全性和可靠性。它采用高質量的材料和密封結構,，確保清洗過程中不會對FOUP造成損害,。安全控制系統(tǒng)和報警裝置保障操作人員的安全。清洗機還配備直觀的用戶界面和操作控制面板,，使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程,。清洗機還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能，方便對清洗過程進行監(jiān)控和分析,。它可記錄清洗參數(shù),、時間和結果等信息，為質量控制青海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系人

江蘇芯夢半導體設備有限公司在同行業(yè)領域中,，一直處在一個不斷銳意進取,，不斷制造創(chuàng)新的市場高度,，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設備中始終保持良好的商業(yè)口碑,，成績讓我們喜悅,，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,，和諧溫馨的工作環(huán)境,，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進取的無限潛力,，江蘇芯夢半導體設備供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準備,，要不畏困難,，激流勇進,，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,，共同走向輝煌回來！