產(chǎn)品說(shuō)明

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺(tái)，適用于先進(jìn)封裝制程的particle,、有機(jī),、無(wú)機(jī),、助焊劑等污染物清洗,。可選配二流體,、megasonic,、超高壓噴洗、RCA ,、Hot water及蒸氣等清洗方式,，清洗工藝窗口寬，清洗能力強(qiáng),，占地面積小,，性價(jià)比高等特點(diǎn),。

功能說(shuō)明

制程均勻度可用 recipe 調(diào)控,。

良率優(yōu)于 wet bench type,。

單片模式之機(jī)況可控制可追溯。

制程個(gè)別參數(shù)易于調(diào)整,。

可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境,。

潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

Footprint 較小,。

適用于 wafer dry in / dry out制程,。

機(jī)臺(tái)之安全性優(yōu)于 bench type。

為未來(lái)濕式高階設(shè)備之主流機(jī)臺(tái),。江蘇芯夢(mèng)設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),，助你輕松提升產(chǎn)能！青海全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

FOUP清洗機(jī)特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可裝載于清洗籃之制品,。伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng),設(shè)有扭力偵測(cè)安全機(jī)構(gòu),，防止人為誤操作造成損壞及危險(xiǎn)。具備停機(jī)自動(dòng)歸位功能,，方便裝載清洗制品,。旋干制程中除IR干燥外，運(yùn)用氣流干燥,，可加速去除較大水滴,，增進(jìn)干燥效果; 進(jìn)而提升效率。

應(yīng)用范圍：該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP,、FOSB,、Cassette的Particle清洗。

分類：

全自動(dòng)FOUP清洗機(jī),、半自動(dòng)foup清洗機(jī),。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,，30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,，更大吞吐量廣東全自動(dòng)片盒清洗機(jī)聯(lián)系人芯夢(mèng)設(shè)備具有多種智能功能，助你輕松應(yīng)對(duì)各種挑戰(zhàn),！

產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,，經(jīng)營(yíng)各類半導(dǎo)體清洗機(jī)，為半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,，其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī),。FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī)，適用于所有類型的晶圓料盒SmifFoup,、Fosb,、Cassette,可以實(shí)現(xiàn)無(wú)與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉(zhuǎn)安裝和固定在封的清洗室內(nèi)36正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由D1Wlate的表面張力,、機(jī)械力進(jìn)Patcdle清洗離心+熱風(fēng)進(jìn)行供干等工藝組成,，高效率,、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。設(shè)備特點(diǎn)：五大系統(tǒng)結(jié)構(gòu),、純水加熱PWH,、高壓噴淋HPS（噴頭位置/形狀，可以根據(jù)客戶料盒形態(tài)針對(duì)性調(diào)整）,、熱風(fēng)烘干HAD（可選配CDA吹干和紅外模式）,、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃,。配備強(qiáng)大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容,，晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等；30~60分鐘完成1次清洗工藝,，快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,；四工位/六工位選擇，依不同產(chǎn)品適配的裝載量,；配備可靠的過(guò)濾系統(tǒng),；EN18822-H14高等級(jí)空氣過(guò)濾系統(tǒng)；0.1um超純水過(guò)濾,；0.003umCDA過(guò)濾,。

FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除，以確保FOUP在后續(xù)的半導(dǎo)體制造過(guò)程中不會(huì)引入水分造成污染或其他問(wèn)題,。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后,，F(xiàn)OUP可能會(huì)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的靜置，以讓水自然排出,。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置,，以便水能夠從FOUP底部排出。噴氣干燥：為了加速干燥過(guò)程,，F(xiàn)OUP清洗機(jī)通常配備了噴氣裝置,。噴氣裝置會(huì)通過(guò)向FOUP表面噴射干燥的氣流，將水分蒸發(fā),。氣流可以是壓縮空氣或氮?dú)?。噴氣干燥的時(shí)間和氣流的強(qiáng)度可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整。熱風(fēng)干燥：有些FOUP清洗機(jī)還配備了熱風(fēng)干燥功能,。在噴氣干燥之后,，F(xiàn)OUP可能會(huì)進(jìn)入一個(gè)熱風(fēng)室，其中通過(guò)加熱空氣或氮?dú)鈦?lái)加速水分的蒸發(fā),。熱風(fēng)干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分,。真空干燥：另一種常見(jiàn)的干燥方法是利用真空環(huán)境。FOUP可能會(huì)進(jìn)入一個(gè)真空腔室,，其中通過(guò)創(chuàng)建負(fù)壓,，使水分在低壓下蒸發(fā),。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果。氣流凈化：在干燥過(guò)程中,，清洗機(jī)通常會(huì)通過(guò)高效過(guò)濾器和空氣凈化系統(tǒng)提供干凈的氣流環(huán)境,。這有助于防止新的顆粒進(jìn)入FOUP,，并確保干燥過(guò)程中不會(huì)引入新的污染物,。江蘇省晶圓盒清洗機(jī)哪家靠譜就選江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司！

Foup清洗機(jī)是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備,，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）,。我們的Foup清洗機(jī)采用先進(jìn)的智能化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊,，占用空間小,，適合各種生產(chǎn)場(chǎng)景。其外觀精美,，質(zhì)感上乘,，提升了生產(chǎn)品質(zhì)，同時(shí)采用品質(zhì)材料,，使用壽命長(zhǎng),，是您的長(zhǎng)久伙伴。我們的產(chǎn)品可以個(gè)性化定制,。具有多種智能功能,，助您輕松應(yīng)對(duì)生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡(jiǎn)單,，維護(hù)方便,，降低您的使用成本。具有高精度功能,，確保生產(chǎn)體驗(yàn),。采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù)，提升使用效率,。選擇我們的Foup清洗機(jī),，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動(dòng)化選擇芯夢(mèng)的設(shè)備,，讓你的生產(chǎn)過(guò)程更加安全,、穩(wěn)定！半自動(dòng)片盒清洗機(jī)怎么收費(fèi)

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FOUP清洗機(jī)是一種清洗foup的設(shè)備,，用于清洗和處理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半導(dǎo)體制造過(guò)程中存放晶圓的封閉式容器,。FOUP清洗機(jī)通過(guò)自動(dòng)化的清洗過(guò)程,，去除FOUP內(nèi)外的污染物,，確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能和處理能力,。它能夠去除FOUP內(nèi)的油脂,、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分,。清洗機(jī)采用不同的清洗方法和工藝參數(shù),，如噴淋清洗、超聲波清洗,、高溫處理等,，以適應(yīng)不同類型的污染物，并確保清洗效果,。清洗機(jī)具有高效,、快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過(guò)程,，提高生產(chǎn)效率,。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過(guò)程的精確執(zhí)行，減少人為操作的誤差,。FOUP清洗機(jī)注重安全性和可靠性,。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu)，確保清洗過(guò)程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害,。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置保障操作人員的安全,。清洗機(jī)還配備直觀的用戶界面和操作控制面板，使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測(cè)清洗過(guò)程,。清洗機(jī)還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,，方便對(duì)清洗過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控和分析。它可記錄清洗參數(shù),、時(shí)間和結(jié)果等信息,，為質(zhì)量控制青海全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,，不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,，多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑,，成績(jī)讓我們喜悅,，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,，和諧溫馨的工作環(huán)境,，富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力，江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),，回首過(guò)去,，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,，我們更要明確自己的不足,，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難,，激流勇進(jìn),，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來(lái),！