白光掃描干涉法采用白光為光源,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描,,干涉條紋掃過(guò)被測(cè)面,通過(guò)感知相干峰位置來(lái)獲得表面形貌信息,。測(cè)量原理圖如圖1-5所示,。而對(duì)于薄膜的測(cè)量,上下表面形貌,、粗糙度,、厚度等信息能通過(guò)一次測(cè)量得到,但是由于薄膜上下表面的反射,,會(huì)使提取出來(lái)的白光干涉信號(hào)出現(xiàn)雙峰形式,,變得更復(fù)雜。另外,,由于白光掃描法需要掃描過(guò)程,,因此測(cè)量時(shí)間較長(zhǎng)而且易受外界干擾?;趫D像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,,實(shí)現(xiàn)了對(duì)雙峰干涉信號(hào)的自動(dòng)分離,實(shí)現(xiàn)了薄膜厚度的測(cè)量,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以通過(guò)對(duì)干涉曲線(xiàn)的分析實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的厚度和形貌的聯(lián)合測(cè)量和分析,。國(guó)產(chǎn)膜厚儀廠(chǎng)家
論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對(duì)象,研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的可行性,。由于不同材料薄膜的特性不同,所適用的測(cè)量方法也不同,。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高,,在通信波段(1550nm附近)不透明的特點(diǎn),選擇采用白光干涉的測(cè)量方法,;而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù),,且能激發(fā)的表面等離子體效應(yīng),,因而可借助基于表面等離子體共振的測(cè)量方法,;為了進(jìn)一步改善測(cè)量的精度,論文還研究了外差干涉測(cè)量法,,通過(guò)引入高精度的相位解調(diào)手段,,檢測(cè)P光與S光之間的相位差提升厚度測(cè)量的精度。國(guó)產(chǎn)膜厚儀銷(xiāo)售價(jià)格白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)的優(yōu)化需要對(duì)實(shí)驗(yàn)方法和算法進(jìn)行改進(jìn),。
微納制造技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)著檢測(cè)技術(shù)向微納領(lǐng)域進(jìn)軍,,微結(jié)構(gòu)和薄膜結(jié)構(gòu)作為微納器件中的重要組成部分,,在半導(dǎo)體、醫(yī)學(xué),、航天航空,、現(xiàn)代制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,由于其微小和精細(xì)的特征,,傳統(tǒng)檢測(cè)方法不能滿(mǎn)足要求,。白光干涉法具有非接觸、無(wú)損傷,、高精度等特點(diǎn),,被廣泛應(yīng)用在微納檢測(cè)領(lǐng)域,另外光譜測(cè)量具有高效率,、測(cè)量速度快的優(yōu)點(diǎn),。因此,本文提出了白光干涉光譜測(cè)量方法并搭建了測(cè)量系統(tǒng),。和傳統(tǒng)白光掃描干涉方法相比,,其特點(diǎn)是具有較強(qiáng)的環(huán)境噪聲抵御能力,并且測(cè)量速度較快,。
薄膜作為改善器件性能的重要途徑,,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子,、醫(yī)療,、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域,。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響,,成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問(wèn)題,,導(dǎo)致其光學(xué)及物理性能達(dá)不到設(shè)計(jì)要求,,嚴(yán)重影響成品的性能及應(yīng)用。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展,,準(zhǔn)確測(cè)量和科學(xué)評(píng)價(jià)薄膜特性作為研究熱點(diǎn),,也引起產(chǎn)業(yè)界的高度重視。厚度作為關(guān)鍵指標(biāo)直接影響薄膜工作特性,,合理監(jiān)控薄膜厚度對(duì)于及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù),、降低加工成本、提高生產(chǎn)效率及企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力等具有重要作用和深遠(yuǎn)意義,。然而,,對(duì)于市場(chǎng)份額占比大的微米級(jí)工業(yè)薄膜,除要求測(cè)量系統(tǒng)不僅具有百納米級(jí)的測(cè)量精度之外,,還要求具備體積小,、穩(wěn)定性好的特點(diǎn),,以適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的在線(xiàn)檢測(cè)需求。目前光學(xué)薄膜測(cè)厚方法仍無(wú)法兼顧高精度,、輕小體積,,以及合理的系統(tǒng)成本,而具備納米級(jí)測(cè)量分辨力的商用薄膜測(cè)厚儀器往往價(jià)格昂貴,、體積較大,,且無(wú)法響應(yīng)工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的在線(xiàn)測(cè)量需求?;谝陨戏治?,本課題提出基于反射光譜原理的高精度工業(yè)薄膜厚度測(cè)量解決方案,研制小型化,、低成本的薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),,并提出無(wú)需標(biāo)定樣品的高效穩(wěn)定的膜厚計(jì)算算法。研發(fā)的系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)工業(yè)薄膜的厚度測(cè)量,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以通過(guò)對(duì)干涉圖像的分析實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的薄膜的聯(lián)合測(cè)量和分析,。
薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),近年來(lái)在電子學(xué),、摩擦學(xué),、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來(lái)越重要,。尤其是在厚度這一特定方向上,,尺寸很小,基本上都是微觀(guān)可測(cè)量,。因此,,在微納測(cè)量領(lǐng)域中,薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中,,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作。在半導(dǎo)體工業(yè)中,,膜厚的測(cè)量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段,。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,,所以準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù),。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以對(duì)薄膜的厚度、反射率,、折射率等光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量,。膜厚儀信賴(lài)推薦
白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于不同材料的薄膜的研究和制造中。國(guó)產(chǎn)膜厚儀廠(chǎng)家
傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號(hào)解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,,用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此,,該解調(diào)方案的原理是通過(guò)傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,,進(jìn)而得到待測(cè)物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快,,受干擾信號(hào)的影響較小,。但是其測(cè)量精度較低。根據(jù)數(shù)字信號(hào)處理FFT(快速傅里葉變換)理論,,若輸入光源波長(zhǎng)范圍為[]λ1,λ2,,則所測(cè)光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),所以此方法主要應(yīng)用于對(duì)解調(diào)精度要求不高的場(chǎng)合,。傅里葉變換白光干涉法是對(duì)傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來(lái)就是對(duì)采集到的光譜信號(hào)做傅里葉變換,然后濾波,、提取主頻信號(hào)后進(jìn)行逆傅里葉變換,,然后做對(duì)數(shù)運(yùn)算,并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,,由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明其測(cè)量精度比傅里葉變換高。國(guó)產(chǎn)膜厚儀廠(chǎng)家