真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,,具體包括很多種類,,包括真空電阻加熱蒸發(fā),,電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,,MBE分子束外延,,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種,。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種,。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材,。 基片與靶材同在真空腔中,。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表面,,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜,。 對(duì)于濺射類鍍膜,,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并且終沉積在基片表面,,經(jīng)歷成膜過(guò)程,,終形成薄膜,。真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來(lái)越慢?重慶真空鍍膜機(jī)廠
【真空鍍膜設(shè)備之真空的獲得】: 真空泵:真空泵是指利用機(jī)械,、物理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善,、產(chǎn)生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理,,真空泵基本上可以分為兩種類型,,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金,、化工,、食品、電子鍍膜等行業(yè),。 A,、粗真空泵(Rough Vacuum Pump):一般用于抽粗真空,有油泵和 干泵,。從結(jié)構(gòu)上可分幾種: 旋轉(zhuǎn)葉片泵:油泵,,極限真空可達(dá)10&3Torr,抽速1~650CFM 隔膜泵:干泵,,極限真空1Torr左右,,抽速<10CFM 往復(fù)式活塞泵:干泵,極限真空10&2Torr,,抽速6~32CFM 渦旋式真空泵:干泵,,極限真空10&2Torr,抽速12~25CFM 螺旋泵:干泵,,極限真空10&3Torr,,抽速30~318CFM重慶真空鍍膜機(jī)廠真空鍍膜機(jī)品牌排行。
【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤(rùn)性能好,、易于揮發(fā)的有機(jī)溶劑中,,使之成為飽和溶液;然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,,這一過(guò)程中,,為了提升效果、縮短浸泡時(shí)間,,可以在抽真空或者加壓條件下對(duì)其進(jìn)行浸泡,。如果存在漏孔,熒光劑溶液會(huì)因毛細(xì)作用滲入到其中,;qing除表面多余的溶液,,待有機(jī)溶劑揮發(fā)后,,熒光材料便會(huì)在漏孔中殘留下來(lái);此時(shí)再用紫外線燈光照射,,漏孔位置就會(huì)觀察到明顯的熒光點(diǎn),。在進(jìn)行紫外光源照射時(shí),對(duì)于一些存在盲孔,、表面不平的器件,,可能也會(huì)存在殘留熒光材料,因此玻璃真空器件,、好在背面進(jìn)行照射觀察,;
對(duì)經(jīng)過(guò)清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,,要用封閉容器或保潔柜貯存,,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小,。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔铩?duì)于高度不穩(wěn)定的,、對(duì)水蒸氣敏感的表面,,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。鍍膜室內(nèi)的灰塵,,設(shè)置清潔度高的工作間,,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^(qū),,除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,,還要進(jìn)行烘烤除氣,。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,,對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施,。真空鍍膜機(jī)的工作原理。
【真空鍍膜真空的基本概念】: 真空的劃分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 極高真空 <10E&12Torr 流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過(guò)氣體的能力,,單位為升/秒(L/S),。一般情況下,管道越短,,直徑越da,,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越da。 流量:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流過(guò)任意截面的氣體量,,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。 抽氣速率:在一定的壓強(qiáng)和溫度下,,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,,簡(jiǎn)稱抽速。單位一般為L(zhǎng)/S或m3/hr或CFM,。 極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空,。認(rèn)準(zhǔn)成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司,。重慶真空鍍膜機(jī)廠
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【如何減少真空鍍膜的灰塵】1,、使用的源材料要符合必要的純度要求,。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問題,。3,、鍍膜一段時(shí)間后,真空室內(nèi)壁必須要清潔處理,。4,、清洗襯底材料,必須要做到嚴(yán)格合乎工藝要求,。5,、工作人員有專門的服裝,操作要戴手套,、腳套等,。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,,有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物,。7、技術(shù)上明確允許的較da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少,。8,、室內(nèi)空氣流動(dòng)性低、地面干凈,,如果是裸露的水泥地,,需要覆蓋處理。墻壁,、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷,。重慶真空鍍膜機(jī)廠