由于每一個(gè)波長(zhǎng)都可以固定一個(gè)距離值，因此,，通過(guò)將光譜山線峰值波長(zhǎng)確定下來(lái),，就可以將精確的距離值推算出來(lái)。假設(shè)傳感器與物體表面存在相對(duì)移動(dòng),，此時(shí)物體表面的中心點(diǎn)恰好處在單色光（A1）的像點(diǎn)處,，可以作出光譜儀探測(cè)到的光譜曲線。通過(guò)測(cè)量得到不同的波長(zhǎng)值，可以將物體表面不同點(diǎn)之間的相對(duì)位移值計(jì)算出來(lái),。如果配上精細(xì)的掃描機(jī)構(gòu),，就可以對(duì)整體的二維表面輪廓及形貌進(jìn)行精確的測(cè)量。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器,，光譜共焦傳感器憑借獨(dú)特的測(cè)量原理,，具有測(cè)量效率高、精度高,、體積小,、非接觸等特點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域都得到了大量的應(yīng)用,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況,，對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。高采樣速率光譜共焦按需定制
光譜共焦位移傳感器原理,，由光源,、透鏡組、控制箱等組成,。光源發(fā)出1束白光,，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)1個(gè)軸向位置,。當(dāng)樣品處于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面將聚焦后的光反射回去,。這些反射回來(lái)的光經(jīng)過(guò)與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過(guò)狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀,。因此，只有焦點(diǎn)位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上,。單色儀將該波長(zhǎng)的光分離出來(lái),，由控制箱中的光電組件識(shí)別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求,。江蘇光譜共焦性價(jià)比高光譜共焦厚度檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)厚度的非接觸式測(cè)量。
集成于2D掃描系統(tǒng)上,，光譜共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù),。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度，整個(gè)過(guò)程需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量,。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器,，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度,。高采樣頻率,，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口,，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè),。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),，避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾，同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析,。
主要是對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)后的誤差進(jìn)行分析,。各自利用干涉儀與高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器開(kāi)展測(cè)量，用曲面測(cè)針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測(cè)針,，以確保光譜共焦傳感器在測(cè)量時(shí)安裝精密度,，隨后拆換平面圖歪頭，對(duì)光譜共焦傳感器開(kāi)展校準(zhǔn),。用小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行解決,，獲得測(cè)量數(shù)據(jù)庫(kù)的離散系統(tǒng)誤差,。結(jié)果顯示：高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)校準(zhǔn)后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,，激光器于涉儀校準(zhǔn)時(shí)的分析線形誤差為0.038%。利用小二乘法開(kāi)展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計(jì)算,，減少校準(zhǔn)時(shí)產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精密度。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)材料表面和內(nèi)部進(jìn)行非接觸式的檢測(cè)和分析,。
光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器,，在3C（計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)電子）電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量,。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線性馬達(dá)的位移測(cè)量,，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度,。也能測(cè)量手機(jī)屏的曲面角度,、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測(cè)是平板電腦生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的環(huán)節(jié),。光譜共焦傳感器可以通過(guò)對(duì)平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu),、控制元件進(jìn)行精密位移、振動(dòng),、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測(cè)量,，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移,，利用返回光譜的峰值波長(zhǎng)位置,。江蘇光譜共焦性價(jià)比高
光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。高采樣速率光譜共焦按需定制
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù),。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求,。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果，以確?？煽康馁|(zhì)量保證,。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的，于目標(biāo)材料分開(kāi)和表面特性,，因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過(guò)程變得越來(lái)越重要,。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過(guò)程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì)，在這種過(guò)程中,，觸覺(jué)測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,，尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí)。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù),、高精度和高速度,。此外，共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量,、透明材料的多層厚度測(cè)量,、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量。測(cè)量過(guò)程是無(wú)磨損的,、非接觸式的,，并且實(shí)際上與表面特性無(wú)關(guān)。由于測(cè)量光斑尺寸極小,，即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到,。因此，共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制,。高采樣速率光譜共焦按需定制