論文主要以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同,。半導體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點,，選擇采用白光干涉的測量方法,；而厚度更薄的金膜的折射率為復數(shù)，且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應,，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法,；為了進一步改善測量的精度，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調(diào)手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度分布的測量和分析,。常州原裝膜厚儀

根據(jù)以上分析可知,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關,；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關；④結構簡單,，成本較低,。但是，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度,。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制,。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm。當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近,，難以區(qū)分，此時時域解調(diào)方案的應用受到限制,。益陽品牌膜厚儀白光干涉膜厚測量技術是一種測量薄膜厚度的方法,。

白光干涉測量技術，也被稱為光學低相干干涉測量技術,，使用的是低相干的寬譜光源,，例如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等,。同所有的光學干涉原理一樣,，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化，進而通過各種解調(diào)方案實現(xiàn)對待測物理量的測量,。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋,，與零光程差的位置對應。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值,，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量,，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點。同時,，相比于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感,、抗干擾能力強、測量的動態(tài)范圍大,、結構簡單和成本低廉等優(yōu)點,。目前，經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展，白光干涉技術在膜厚,、壓力,、溫度、應變,、位移等等測量領域已經(jīng)得到廣泛的應用,。

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復雜,。如何精確地測定靶丸的光學參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關注的課題。由于光學測量方法具有無損,、非接觸,、測量效率高、操作簡便等優(yōu)越性,，靶丸參數(shù)測量通常采用光學測量方式,。常用的光學參數(shù)測量手段很多，目前,，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學顯微干涉法、激光差動共焦法等,。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義,。而常用的折射率測量方法[13],，如橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的表面和內(nèi)部結構測量,。

基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，利用共振曲線的三個特征參量—共振角、半高寬和反射率小值,，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡單,。我們利用Kretschmann型結構的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm,。由于該方案是一種強度測量方案，測量精度受環(huán)境影響較大，且測量結果存在多值性的問題,，所以我們進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量。白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學通信中的薄膜透過率測量,。安慶有哪些膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術可以對薄膜的厚度,、反射率、折射率等光學參數(shù)進行測量,。常州原裝膜厚儀

靶丸殼層折射率,、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中非常關鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布對ICF精密物理實驗研究具有非常重要的意義,。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級）,、結構特殊（球形結構）,、測量精度要求高，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術研究中重要的研究內(nèi)容,。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求,，開展了基于白光干涉技術的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術研究。常州原裝膜厚儀